nSpec®CPS

概述 特性 规格

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具有人工智能的自动化检查

一个复杂的图像处理AOI系统，提供了可定制性和灵活性，以及可靠的，高度可重复的结果。ai增强的软件可以通过训练来检测稀疏数据的缺陷。一旦经过训练，该算法可以被导入到生产工具中，用户可以开始自动分类缺陷和感兴趣的特征。该系统生成一份晶圆片上所有检测到的缺陷的缺陷图报告。

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完全自动化的检查:

  • 衬底晶片
  • Epi晶片
  • 有图案的晶片
  • 丁晶片
  • 个人设备
nSpec ®CPS

特性

自动处理晶片 多分辨率设置 快速扫描 可定制的缺陷报告 晶片拼接 各种样品卡盘尺寸，以满足特定需求 缺陷或感兴趣的特征检测和分类的稳健分析 检查及覆核程序 多系统同步 占地面积小，设施要求最低 机架安装控件 门互锁

具有自动检查过程的特性

狗万滚球app下载Nanotronics的装载机控制软件具有组和单独的晶圆处理功能。该软件可以在一个食谱中保存序列，给用户高度可重复的结果。该软件还允许您标记晶圆，以加快质量控制过程。控制软件通过报告和处理所有运动控制错误来保证晶圆的安全。

nSpec®CPS

规范

  • 重量

    540公斤

  • 尺寸(W x D x H)

    158厘米x173厘米x202厘米

  • 分钟。真空要求

    24。Hg (70 kPa)

  • 电力供应

    110 v / 220 v, 30安培

  • 一次运行一盒磁带:

    25片/盒或FOUP

  • 标准晶片尺寸

    300, 200mm与适配器

  • Pre-Aligner

  • 照明模式:

    Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)

  • 光源

    白光LED，其他选项可用

  • 目标

    2.5, 5, 10, 20，或50x，用户可选择

  • 旅行,典型的

    X和Y方向350毫米

  • 定位

    带闭环编码器的直线伺服电机(50nm分辨率)

  • 可重复性

    + / - 0.5μm

  • 旅行的平面度

    20μm

  • 建设:

    精密磨削滚道和高刚性直线导轨

  • 越来越多的平台

    独立平台集成到柜体系统中

  • 集中载荷容量:

    5公斤

  • AFM

  • 秒/宝石

  • OCR相机

  • 空气离子发生器