智能功能，自动检查您的检查
一种人工智能分析仪，具有稀疏数据训练，以识别感兴趣的缺陷和特征。培训后，可以将分析仪导入生产工具并开始自动检测和分类缺陷。
此自动化创建高度可重复的检测结果并降低了操作员错误的可能性。
一种器件检查功能，将管芯与其他管芯进行比较，并报告所有模具的位置坐标，无论是由光掩模和曝光过程的条件引起的粒子或系统缺陷簇引起的随机缺陷。然后系统生成晶片上检测到的所有缺陷的缺陷映射报告。
nspec.®PS.
用人级智能自动检查
测序易于保存在配方中，以帮助产生高度可重复的研究。用户可以将晶圆标记为拒绝以帮助质量控制过程。狗万滚球app下载Nanotronics的装载机控制软件功能组和单个晶圆处理。控制软件通过正确报告和处理所有运动控制错误来保持晶圆。
nspec.®PS.
全自动检查：
- 衬底晶片
- epi晶片
- 图案晶圆
- 切片薄片
- 个别设备
nspec.
®PS.
特征
自动晶圆处理
多个分辨率设置范围为0.25μm，更大
快速扫描
可定制的缺陷报告
各种样品卡盘满足特定需求
缺陷或利息检测和分类特征的鲁棒分析
检查和审查程序
多系统同步
小占地面积和最小的设施要求
机架安装控制
nspec.®PS.
规格
- 重量
318千克
- 尺寸（W X D X H）
153 cm x 133 cm x 176 cm
- 分钟。真空要求
24英寸HG（70 KPA）
- 电源
110V / 220V，3.5安培
- 一次运行一个盒式磁带
25晶圆/盒式磁带，标准H-Bar盒式磁带
- 标准晶片尺寸
50,75,100,150，或200毫米
- 尺寸（W X D X H）：
71厘米x 75 cm x 35厘米
- 重量
54千克
- 预先对准
- 照明模式
Brightfield，Darkfield，DIC（Nomarski）
- Lightsource.
白光LED（其他选择可用）
- 目标
2.5,5,10,20或50倍，用户可选择
- 旅行，典型
200 mm x和y方向
- 定位
具有闭环编码器的线性伺服电机（50 nm分辨率）
- 重复性
+/-0.5μm
- 旅行平坦
30μm.
- 施工
精密磨坡和交叉滚子轴承
- 安装平台
显微镜/重型基座集成到隔离桌中
- 以中心的负载能力为中心
2.27千克
- 重量
11.33千克
- 尺寸（w x d x h）
35厘米x 37 cm x 4厘米
- AFM
- 秒/宝石
- OCR相机
- 传输光