nspec.®LS.

概要 特征 眼镜
NSPEC®LS.

nspec.®LS.

结合光学显微镜，计算超分辨率，人工智能和机器人，纳米龙纳米学使世界上最先进的显微镜带到每个制造业。狗万滚球app下载

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世界上最先进的自动化检查系统

除了单幅图像捕获或扫描的设置外，检查系统设计允许轻松设置重复的质量控制测试。配置选项包括晶片尺寸，要识别的缺陷类型和扫描分辨率。可选的晶片装载机和各种样品卡盘可满足特定需求。

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光学检查：

  • 衬底晶片
  • epi晶片
  • 图案晶圆
  • 切片薄片
  • 个别设备
nspec. ®LS.

特征

多个分辨率设置 快速扫描 晶圆镶嵌 可定制的缺陷报告 晶片尺寸，缺陷类型和扫描分辨率的配置选项 样品卡盘尺寸以满足特定需求

nspec.®LS.

规格

  • 旅行，典型

    200 mm x和y方向

  • 以中心的负载能力为中心

    2.27千克

  • 重复性

    +/-0.5μm

  • 一步的大小

    0.04微米

  • 旅行平坦

    30μm.

  • 重量

    54千克

  • 限制开关

    机械，不可调节

  • 晶圆真空吸管（可选）

    可调节至50,75,100,150,200或300 mm

  • 白色照明：

    LED（其他选项）

  • Brightfield / Darkfield目标：

    5,10,20或50x，用户可选择

  • 差分干扰对比：

    （Narmarski）

  • 舞台，焦点，骗局司，照明，相机

    手动用户操作