F.A.Q.
系统是否能够进行关键尺寸的测量?
是的。该系统能够进行特征和线宽等关键尺寸的测量。
你们提供NIST校准标准吗?
是的。应要求，我们提供NIST校准标准。我们的标准校准是像素校准。
系统有多大?
我们的桌面nSpec的好处之一®系统是其小巧的尺寸32.63 w x 36.73H x 32.63 3d。如果配以自动装片机，晶圆尺寸为44.63W x 36.73H x 32.63 3d
这个系统是和个人电脑一起提供的吗?
是的。该标准系统与PC与强大的规格，使超分辨率图像处理。
系统需要一个隔离表吗?
该系统不需要一个隔离表，但如果你想使用原子力显微镜透镜或在高分辨率20倍或更多的检查，隔离表是推荐的。我们的全自动系统包括TMC 63-561隔离表。
该系统是用于研发的实验室工具还是用于生产工具?
这是两个。该系统可以作为研发的实验室工具，也可以作为生产工具。我们还可以定制系统，以满足您的具体需求。
系统可以对哪些类型的缺陷或特性进行分类?
无论是凹坑、划痕、裂纹、颗粒还是其他任何特征，系统都可以定制，以准确地检测出您想要发现的。该系统有一个人工智能分析仪和训练AI分析仪是简单的，就像显示它的缺陷样本和命名分类，你想使用这些缺陷。经过几次“学习”会议后，AI分析仪将识别和分类这些缺陷自动。该系统还包括一种设备检查方法，用于构建理想设备模板，并将其与其他设备进行比较，并标记偏离理想模板的任何区域。
系统会自动对焦吗?
是的。该系统具有自动对焦功能。它可以自动对焦在预先设定的位置或在每次图像捕获之前。该系统使用了一种基于对比度的自动对焦算法，允许在完全透明或高度反射的材料上自动对焦。
系统是否自动设定光强?
是的。如果你想自动设置光强，你可以输入光强设置作为一个用户定义的首选项，并保存你的首选项设置作为一个“作业”以备将来使用。
系统是否有OCR功能?
系统是否有OCR功能?
系统使用什么类型的光学元件?
系统使用奥林巴斯亮场/暗场目标。
系统使用什么类型的光源?
标准系统使用白光LED。我们还可以配置传输、超亮LED、近紫外线、卤素或其他特定波长的系统。
系统使用什么照明模式?
标准nSpec®系统包括亮场、暗场和DIC(差分干涉对比/Nomarski)成像模式。该系统还可以容纳各种荧光滤镜，并可以将其他成像模式与标准亮场模式配对。我们还提供可选的透射光源。
最高的缺陷或特性分辨率是什么?
在超分辨率之前，阿贝极限是显微镜分辨率的极限。阿贝极限是在1873年由德国物理学家恩斯特阿贝发现的，这个“极限”解释了光学成像仪器的分辨能力受到光的物理衍射特性的限制。这个限制阻碍了光学显微镜的分辨率超过一个世纪。但是现在有了超分辨率技术，阿贝的极限可以被克服。的nSpec®系统采用超分辨率，可检测250纳米范围内的缺陷。我们还提供计算显微镜方法，可以检测和分类缺陷，超出了传统光学显微镜的限制，以及扫描探针原子力显微镜(AFM)透镜，可以提供形貌和测量在单纳米范围。
系统是否可以使用滤光片或其他波长的光源?
是的。该系统可以适应各种过滤器和光源。
系统使用透射光吗?
是的。该系统可以配置为使用透射光。
系统上可以安装多少个目标?
可以安装五个目标。标准物镜包括5倍，我们提供一个可选的原子力显微镜(AFM)镜头。其他目标(1.25,2.5,10,20,50和100x)也可用。
这个相机的像素是多少?
该款相机为600万像素，典型像素为5.5微米，帧率为17.4帧/秒。
你们提供彩色成像吗?
是的。该系统可以配备彩色摄像头进行想象。图像分析是在灰度，除了分析执行的AI分析仪。
视场有多大?
视场为3296 x 2472像素。检测1×m及以上缺陷的典型视场为2.5mm x 2mm。
DIC照明模式使用什么类型的棱镜?
该系统采用Nomarski棱镜进行DIC照明。
多个系统可以通信吗?
是的。我们的一个客户在生产过程的不同阶段使用了12个系统，所有的系统都相互通信。
系统是否具有秒/GEM功能?
是的。系统具有秒/GEM兼容性。
系统是否与MES应用程序集成?
是的。我们的软件团队将与您的工程师合作，在nSpec之间启用消息传递®以及你们的制造执行系统。
该系统可以分析从不同的系统，如扫描电子显微镜获得的图像吗?
是的。能够分析来自其他系统的图像，如扫描电子显微镜是可能的。
什么类型的样品可以扫描?
我们可以扫描半导体、陶瓷、聚合物和透明样品。
我如何知道该系统将为我的样本和应用程序工作?
我们的解决方案团队将倾听您的检查挑战，并与您一起找到最适合您需求的解决方案。我们将使用您提供的样品来演示我们的检验解决方案，以应对您的挑战。
该系统可以检测透明样品如玻璃和光学吗?
是的。该系统可以检测玻璃、光学镜片等透明样品。
系统能检查织物和材料吗?
是的。该系统可以检测广泛的基材，包括织物和材料。
系统能否扫描条码读取器样本ID?
是的。该系统允许操作员使用条形码阅读器扫描样本id。
扫描一个样本需要多长时间?
扫描时间取决于所需的分辨率和样本大小。例如，100mm分辨率为0.908 um/像素的样本需要6分钟的扫描时间。
可以扫描的最大样本区域是什么?
标准是200mm x 200mm，但我们也提供一个300mm系统，如果你需要的东西大于300mm，我们会为你创建一个定制的解决方案。
你能提供定制尺寸的样品吗?
是的。我们将设计一个解决方案来满足您的需要。
系统是否有自动晶圆处理装置?
是的。系统处理程序是为晶圆设计的，但我们的自动化团队可以很容易地设计一个定制处理程序，以配合任何你想要检查的基板。
晶圆片装载机可以容纳多大的尺寸范围?
晶圆处理器可以容纳2- 8英寸的晶圆。我们有一个完全自动化的晶圆处理系统，我们还可以为非晶圆应用量身定制自动化处理设备。
系统能适应边缘排除吗?
是的。该系统可以适应边缘排除和排除区域可以根据需要进行调整。
系统能检查环上的晶圆片吗?
是的。我们的标准样品夹头可以在环箍上放置小圆片。我们还可以容纳凝胶包、口罩和碎片。我们将定制样本卡盘和夹具，以适应您的具体需要。
该系统能检查有图案的晶圆片吗?
是的。系统将映像一个理想的模式，并创建一个黄金模板，与其他模式进行比较，任何显著的偏差都被标记为缺陷。
表面粗糙度测量可以使用3D地形扫描模式进行吗?
是的。利用地形数据可以计算出表面粗糙度。的nSpec®可以捕获三维地形在亚微米分辨率使用快速，非接触光学方法。
3D扫描是否与表面接触?
是的,没有。我们可以定制一个适合你需要的解决方案。如果你不想使用表面接触，我们可以使用聚焦叠加的方法创建一个三维地形，或者我们可以获得几个相同表面视角的图像，但从不同的方向照明，这样做将揭示三维表面细节。如果你需要亚微米分辨率，那么就使用表面接触。我们有一个原子力显微镜(AFM)透镜表面接触检查。
3D地形的最高分辨率是多少?
最大的3 d地形分辨率0.200µm x和y轴分辨率和z轴分辨率约70海里。我们还提供可选的原子力显微镜镜头(AFM)，具有1.7nm x, y轴分辨率和0.34nm z轴分辨率。
AI分析仪是如何工作的?
人工智能分析器识别模式，并从数据中产生见解。训练AI分析器就像给它显示缺陷样本和命名你想用于那些缺陷的分类一样简单。经过几次“学习”会议后，AI分析仪将识别和分类这些缺陷自动。
你们提供软件更新吗?
是的。我们正在不断更新我们的软件。我们的软件更新可以远程安装，如果您愿意，或者无法远程访问，我们的技术服务团队的一名成员将到现场安装软件更新。
软件可以安装在工作站上吗?
是的。该系统可以安装在工作站上。该软件也可以安装在计算机上，仅用于图像分析。
系统使用什么类型的图像分析技术?
我们使用基本阈值、计算机视觉、基于金模板和人工智能图像分析技术。我们的分析显示了产量，并有助于指定因果关系，因此您可以快速调整您的过程。
系统是否具有宏扫描和分析能力?
是的。系统可以捕获宏观级别的缺陷并在几秒钟内分析它们。
系统可以导入KLARF进行缺陷评审吗?
是的。系统可以导入和导出KLARF格式。系统可以检查导入的KLARF文件的缺陷。
扫描和分析数据的输出是什么?
我们可以导出KLARF、csv和xml格式。
您是否为个别客户或应用程序定制软件?
是的。我们将定制软件，以满足我们的客户和其他特殊应用的需要。
我可以要求一个新的特性或硬件修改吗?
是的。您可以在任何时候请求新特性或硬件修改。我们的自动化团队为我们的客户定制设计了许多修改。
培训包括在系统中吗?
这个系统包括两天的培训。
建立一个新的检验配方需要多长时间?
一份食谱可以在几分钟内设置好，并作为“作业”保存以备将来使用。