从多种工具类型集成您的分析

晶圆检验在每个节点都变得越来越具有挑战性和昂贵。集成电路推向市场的生产过程前置时间正在缩短。复杂的检查、测试和验证程序会造成延迟。

拥有一个可以分析来自所有其他工具的图像的工具可以节省时间并提高吞吐量。

无论这些图像是来自电子束还是光学检测系统,纳米电子软件都可以分析每一个工艺步骤的图像,并准备定制的报告,用于跟踪制造、分配缺陷因果关系和给出纠狗万滚球app下载正反馈。
该软件有几种分析仪类型和设置完全可定制。还有四种缺陷报告查看模式。狗万滚球app下载纳米电子学软件可以连接fab中的所有检测设备,因此您可以发现缺陷识别数据和工艺工具参数之间的相关性,并及时纠正制造工具。