3D Macroscale测量

宏观规模的3D关键尺寸测量

nspec.^®使用自动非接触点查找方法来快速确定3D关键尺寸。

下面的图像显示了非球面镜片的临界尺寸曲线。这种类型的可编程点采样可用于各种基板，包括具有极低对比度的基板。

可以自定义报告以使用对您很重要的指标。下面的样品具有最佳拟合系数，用于均匀6^TH.订单多项式与预期值相比。