高速光学扫描
的nSpec®速度快,而且是全自动的。您可以在您选择的查看模式下快速扫描样本,系统将根据您设置的阈值和报告参数自动分析、存储、分类和报告缺陷。
我们建立了一个复杂的算法用于检测、分类和提高成像分辨率和自动化硬件。这包括通过图像重建超越阿贝极限的专利方法、新型的稀疏数据AI、用于创建最快纳米地形的计算机视觉技术,以及用于智能自动化传统手工处理的系统。
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的nSpec®使用自动非接触式测点方法快速确定三维关键尺寸。
晶圆检查在每个节点上变得越来越具有挑战性和昂贵。将集成电路推向市场的生产过程前置时间正在增加。复杂的检查、测试和验证程序会造成延迟。
该工艺检测由光掩膜或曝光过程引起的粒子和缺陷团簇引起的缺陷。缺陷图报告所有检测到的缺陷,该过程适用于非常大的设备,并在未区分高频特性的区域检测缺陷。
人工智能前沿的思考。机器学习和计算复制人类大脑的能力。
虽然定义很好,系统放大和分辨率经常被误解。我们真正关心的是系统分辨率——系统量化图像细节的能力。
本文讨论了一种分辨率小于1微米的反射光法。该方法通过机械地以小的增量移动样品来避免可见光的衍射极限。